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          日本ULVAC DIS-501渦旋干式真空泵技術參數

          發布時間: 2015-12-29  點擊次數: 1774次

          日本ULVAC DIS-501渦旋干式真空泵 一、特性

           

          • 雙繞式渦旋泵,含1 根軌道螺旋和2 根固定螺旋。

          • 可在大氣壓下實現操作運行。

          • 可實現高極限真空。

          • 低振動低噪音。

          • 維護周期可通過計時表控制。

           

          日本ULVAC DIS-501渦旋干式真空泵 二、應用

           

          • 分析設備

          • 氣體回收系統

          • 涂料設備

          • TMP 前級泵

          • 氦滲漏探測器

          • 半導體制造工藝

           

          日本ULVAC DIS-501渦旋干式真空泵 三、規格參數

           

           

          單位

          50Hz

          60Hz

          實際抽速

          L/min

          500

          600

          極限壓力

          Pa

          1.0

          馬達

          單相

           

          100/115/200/230V, 600W, 4P, 電容啟動運行

           

          三相

           

          200/208/230/380/400/415/460V, 600W, 4P

          滿載電流

          單相

          A

          8.5/4.3/3.9
          (100/200/230V)

          2.7/1.57/1.57/1.63
          (200/380/400/415V)

           

          三相

           

          10.0/8.6/4.8/4.0
          (100/115/200/230V)

          2.8/2.5/2.5/1.47
          (200/208/230/460V)

          重量

          單相

          kg

          44.0

           

          三相

           

          38.0

          進出氣管道直徑

           

          進氣管KF-40 出氣管 KF-25

          環境溫度

          °C

          5 – 40

          水蒸氣處理

          g/天

          ≤25 (A.F. 開啟)

          尺寸

          單相

          mm

          290(W) × 443(L) × 397(H)

           

          三相

           

          290(W) × 372(L) × 397(H)

           

           

          四、外形圖

           

           

          五、泵數曲線

           

          六、對應電壓與認證

           

          電壓

          現行電壓

          CE 認證

          CSA 認證

          單相, 100V, 200V, 230V
          115V (60Hz)

          標準

           ●

          三相, 200, 380V, 400V, 415V (50Hz) 
          200V, 208V, 230V, 460V (60Hz)

          標準

                ●

                ●




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