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          日本ULVAC CFB-3600（LF）渦輪分子泵技術(shù)參數(shù)
          
                
          
                  發(fā)布時間： 2015-12-29　　點擊次數(shù)： 1585次  
                
          
                
          
                 
          日本ULVAC CFB-3600（LF）渦輪分子泵 一、產(chǎn)品簡介
                  CFB-3600渦輪分子泵的葉輪采用變截面葉齒，增強了葉片強度、減輕了轉(zhuǎn)子重量，縮短了啟動時間，降低了機械損耗，增加了使用壽命。
           
          日本ULVAC CFB-3600（LF）渦輪分子泵 二、壓縮比曲線和抽數(shù)曲圖
                  
           
           
          日本ULVAC CFB-3600（LF）渦輪分子泵 三、主要性能指標(biāo)
           
          型號
          CFB-3600
          進(jìn)氣口法蘭
          —

          LF400
          排氣口法蘭
          —
          LF100
          抽氣速率
          L/s
          3600
          壓縮比N2/H2
          —
          1×108/5×102
          極限壓強
          Pa
          2×10-6
          電機轉(zhuǎn)速
          rpm
          12600
          啟動時間
          min
          ＜10
          停機時間
          min
          ＜20
          振動值
          μm
          ≤0.15
          前極泵
          L/s
          30-70
          冷卻水溫度
          ℃
          ≤25
          泵體烘烤溫度
          ℃
          <120
          冷卻水流量
          L/min
          1
          安裝方向
          —
          垂直±5°
          重量
          kg
          ～100
          
                
          
                
            
          
        
          
    
          
  
          

          

          






 

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